氣體氮化時間長表面粗糙，硬而脆不耐磨。氣體滲氮的工件，表面通常會出現(xiàn)較厚（20um以上）的化合物層，這是由ε+γ′兩相組成的不均勻混合物層，里層則為擴散層。因此，在化合物層內產生三向顯微應力，若在此應力方向上再略加外力，就會產生微小裂紋，此裂紋逐漸擴展而使整個化合物層剝落。含鉻、鋁滲氮鋼的化合物層很脆，氣體滲氮后一般均要把它磨去后才能使用。而離子滲氮可以通過控制氣氛中氮氣和氫氣的比例，可以獲得5-30um厚的脆性較小的ε相單相層或0-8um厚的韌性γ′相單相層，也可以得到韌性更優(yōu)的無化合物層而僅有擴散層的滲氮層，這樣可以不需要磨削直接裝機使用。
