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無水氯化鈰優(yōu)質批發(fā),無水氯化鈰送貨上門

  • 發(fā)布時間:2019-03-26 11:53:35,加入時間:2016年07月18日(距今3445天)
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無水氯化鈰

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1 稀土離子摻雜AIN薄膜的制備方法

目前,稀土摻雜氮化物薄膜的制備方法主要有:原位摻雜方法和離子注入方法。原位摻雜方法主要包括金屬有機化學氣相沉積、分子束外延、氫化物氣相外延、磁控濺射等方法。離子注入方法的基本過程是以氮化物薄膜作為襯底,將稀土離子注入到襯底中形成稀土摻雜氮化物薄膜。

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