陶瓷激光加工按照加工材料的尺寸大小和加工的精度要求,將目前的激光加工技術分為三個層次:
1、大型件材料激光加工技術,以厚板(數(shù)毫米至幾十毫米)為主要對象,其加工精度一般在毫米或者亞毫米級;
2、精密激光加工技術,以薄板(0.1~1.0mm)為主要加工對象,其加工精度一般在十微米級;
3、激光微細加工技術,針對厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對象,其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級。
在機械行業(yè)中,精密通常是指表面粗糙度小、各種公差(包括位置、形狀、尺寸等)范圍小。但本文所說的“精密”一詞,是指被加工區(qū)域的縫隙小,意即加工所能達到的極限尺寸小。在上述三類激光加工中,大型件的激光加工技術已經日趨成熟,產業(yè)化的程度已經非常高,已有不少的文獻進行了綜述;激光微細加工技術如激光微調、激光精密刻蝕、激光直寫技術等也已在工業(yè)上得到了較為廣泛的應用,有關的綜述報道亦較多;本文將重點對激光精密加工技術進行討論。為了比較方便,下文所說的精密加工所針對的加工對象只是薄板mm)。
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梁經理
