傅里葉紅外線分析單元

MKS MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm的靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)測和工業(yè)尾氣監(jiān)測。MultiGas™6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水氣的樣品，能同時分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲存了永久性的標(biāo)定光譜，節(jié)省了昂貴的標(biāo)氣成本。另外，使用者也會發(fā)現(xiàn)MultiGas™6030傅利葉變換紅外光譜分析儀極其耐用，全自動化操作，使用簡便，易于維護(hù)。

MultiGas™6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由專利設(shè)計的2102過程傅利葉變換紅外分光計，高光通量取樣氣室，專業(yè)分析軟件及獨立與儀器的定量標(biāo)準(zhǔn)光譜庫組成。MultiGas™6030收集高分辨率的紅外光譜，使用定量標(biāo)準(zhǔn)光譜庫進(jìn)行分析，提供絕大多數(shù)氣體及蒸氣的高精度，高靈敏度測量。

n  技術(shù)規(guī)格

Ø  測試技術(shù)： FTIR 傅里葉變換紅外光譜

Ø  監(jiān)測氣體：本項目：SO2、NOx濃度(NO、NO2同時在線監(jiān)測)、CO、HCL、

Ø  量程范圍:NOx：0-600mg/m3；SO2：0-300mg/m3;CO：0-300mg/m3;HCL：0-150mg/m3（量程可調(diào)）

Ø  傅利葉變換紅外:2102 過程FTIR

Ø  光譜分辨率:0.5 – 16cm-1

Ø  掃描速度:每秒一次在0.5cm-1分辨率下

Ø  掃描時間:1-300 秒

Ø  紅外光源:碳化硅

Ø  參考激光:氦氖 (15798.2cm-1)

Ø  檢測器:液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）

Ø  吹掃壓力:20 psig (1.5 bar) 

Ø  光譜室吹掃流量：0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的潔凈干燥空氣

Ø  光學(xué)系統(tǒng)吹掃流量：0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的潔凈干燥空氣

Ø  壓力傳感器：MKS Baratron®電容式薄膜壓力傳感器

Ø  吹掃接口： Swagelok®快速接頭

Ø  通訊： RJ-45 交叉以太網(wǎng)口

Ø  輸出選項： OPC, Modbus, AK

Ø  尺寸：445mm寬X 318mm高X 648mm深

Ø  安裝：可安裝于19英寸標(biāo)準(zhǔn)機柜

Ø  電源：120 或240 VAC, 50/60 Hz, 3A

Ø  重量：50 公斤

n  特點和優(yōu)點

Ø  對于絕大多數(shù)有毒有害氣體達(dá)到ppb級別的靈敏度- 包含 VOCs, 酸性和堿性氣體, 氫化物, 和全氟化合物

Ø  可應(yīng)用于高達(dá)40%含水量的樣品介質(zhì)

Ø  可方便的從一處現(xiàn)場移動至另一現(xiàn)場，設(shè)置僅需幾分鐘

Ø  同時分析和顯示超過30種氣體

Ø  分析儀自帶的光譜模型可以永久性使用，無需在現(xiàn)場進(jìn)行定期標(biāo)定，節(jié)省了昂貴的標(biāo)氣消耗成本

Ø  取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度

Ø  專利保護(hù)的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的標(biāo)定條件下

Ø  頻率和分辨率診斷，確保恒定的標(biāo)定

Ø  提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

Ø  用戶操作簡便的軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

氧氣在線監(jiān)測儀

垃圾焚燒煙氣氧含量監(jiān)測儀采用氧化鋯氧量分析儀，可以實用可靠的自動分析煙氣中氧含量，由氧量檢測器（傳感器）和顯示儀表（變送器）構(gòu)成的測量及顯示系統(tǒng)，其檢測器可以采用耐高溫，耐腐蝕材料制成，可直接插入煙道內(nèi)進(jìn)行氧量的測量，顯示儀采用單片機控制，能與各種電動機單元組合儀表，常規(guī)顯示記錄儀及DCS 集散控制系統(tǒng)配合使用。

n  特點

·傳感器采用耐高溫，耐腐蝕材料，可靠性好；

·特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，不必外加氣泵，參比氣能自行對流；

·傳感器設(shè)有標(biāo)準(zhǔn)氣接口，可在現(xiàn)場運行時進(jìn)行標(biāo)定校驗，維護(hù)方便；

·采用單片機控制及數(shù)據(jù)處理，響應(yīng)速度快，測量準(zhǔn)確，性能穩(wěn)定。

n  技術(shù)參數(shù)

l  測量范圍：0-20.6% O2

l  精 度：≤±2%FS

l  被測煙氣空氣過剩系數(shù)范圍：0.1-99；

l  響應(yīng)時間：≤3 秒（90%響應(yīng)）；

l  電流輸出：0-10mA 或4-20mA;

l  電 源：220V±10% 50HZ±5%

l  工作條件：環(huán)境溫度；0-50℃；

l  相對濕度：<85%

l  防護(hù)等級：IP65

l  氧化鋯檢測器加熱爐升溫時間：約20 分鐘；

n  工作原理

被測氣體通過檢測器過濾器，進(jìn)入氧化鋯管內(nèi)側(cè)，參比氣（空氣）通過自然對流進(jìn)入檢測器的外側(cè)，當(dāng)鋯管內(nèi)外側(cè)的氧濃度不同時，在氧化鋯管內(nèi)外側(cè)產(chǎn)生氧濃度差電動勢（在產(chǎn)比起確定的情況下，氧化鋯檢測器輸出地氧濃度差電動勢與檢測器工作溫度和被測氣體濃度成函數(shù)對應(yīng)關(guān)系）。該氧濃差電動勢經(jīng)顯示儀表（變送器）轉(zhuǎn)換成與氧量呈線性關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)信號供顯示和輸出。

氧量分析的核心部件是固體氧化鋯材料，耐堿，耐高溫的陶瓷 材料，在高溫下它還是一種氧離子導(dǎo)體，在氧化鋯元件的兩側(cè)涂以多孔鉑金電極，當(dāng)兩側(cè)通一不同的含氧量時，就形成了氧濃差電動勢，這種氧濃差電動勢用倫斯特（Nernst）公式表示為：

EZ =RT/Nf INPa/Po

式中： Ez----氧濃差電動勢，單位Mv;

R----理想氣體參數(shù)，8.314 焦耳、度·克分子；

T----絕對工作溫度K，273.16+T℃；

n---參加反應(yīng)的電子數(shù)，為4；

F---法拉第常數(shù)，96500 庫倫；

Pa---參比氣體（空氣）濃度取20.6%；

Po---被測氣體（煙氣）濃度，單位%；

在參比氣確定的情況下，氧化鋯檢測器輸出的氧濃差電動勢Ez 僅與檢測器工作溫度和被測氣體濃度成函數(shù)對應(yīng)關(guān)系。