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LFHS3 3軸納米位移平臺

  • 發(fā)布時間:2021-09-02 14:37:36,加入時間:2021年08月06日(距今1738天)
  • 地址:中國»吉林»長春:長春市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)錦河街155號,中國·吉林東北
  • 公司:長春市海洋光電有限公司, 用戶等級:普通會員 已認證
  • 聯(lián)系:楊,手機:13944855190
 

LFHS3

運動范圍XYZ(µm)

75

75

50

分辨率XYZ(nm)

0,075

0,075

0,05

典型的噪聲基準(zhǔn)XYZ(nm)

0,0075

0,0075

0,005

全方位的重復(fù)性XYZ(nm)

0,15

0,15

0,1

線性化(典型的)

0,02%

0,02%

0,02%

諧振頻率X / Y / Z(赫茲)

3000

2000

1500

剛度 X/Y/Z (N/µm)

4

3

3

最*負載(kg)-水平使用

1

最*負載(kg)-垂直使用

0,5

傳感器

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

140 x 121 x 33,6

材料

Al

電纜長度(m)

2

推*控制器

High Speed

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