TT2 角度調(diào)節(jié)納米位移平臺
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TT2.5
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角運(yùn)動范圍 (mrad)
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5
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角分辨率 (µrad)
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0,005
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典型的角噪聲基準(zhǔn) (µrad)
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0,0005
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全方位的重復(fù)性 (µrad)
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0,01
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線性化 (typical)
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0,02%
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諧振頻率 Tip/Tilt (Hz)
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4000/2000
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剛度 (N/µm)
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N/A
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最da負(fù)載(kg)-水平使用
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0,2
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最da負(fù)載(kg)-垂直使用
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0,2
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傳感器
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Silicon HR sensor
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尺寸W x L x H (mm)
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51 x 60,5 x 43,2
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材料
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Al
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電纜長度(m)
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2
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推jian控制器
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Standard or High Speed
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