LTHS2 2軸納米位移平臺
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LTHS2
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運動范圍XY(µm)
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75
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分辨率XY(nm)
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0,075
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典型的噪聲基準(zhǔn) XY(nm)
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0,0075
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全方位的重復(fù)性XY(nm)
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0,15
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線性化(典型的)
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0,02%
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諧振頻率X / Y(Hz)
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1500/1000
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剛度 (N/µm)
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2/2
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最da負載(kg)-水平使用
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0,5
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最da負載(kg)-垂直使用
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0,3
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傳感器
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Silicon HR sensor
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尺寸W x L x H (mm)
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152,5 x 190 x 18,5
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材料
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Al
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電纜長度(m)
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2
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推jian控制器
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Standard or High Speed
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