LFHS2 雙軸納米位移平臺(tái)
|
|
LFHS2
|
|
運(yùn)動(dòng)范圍XY(µm)
|
75
|
|
分辨率XY(nm)
|
0,075
|
|
典型的噪聲基準(zhǔn) XY(nm)
|
0,0075
|
|
全方位的重復(fù)性XY(nm)
|
0,15
|
|
線性化(典型的)
|
0,02%
|
|
諧振頻率X / Y(Hz)
|
3000/2000
|
|
剛度 (N/µm)
|
4/3
|
|
最da負(fù)載(kg)-水平使用
|
1
|
|
最da負(fù)載(kg)-垂直使用
|
0,5
|
|
傳感器
|
Silicon HR sensor
|
|
尺寸W x L x H (mm)
|
120,8 x 120,7 x 28,5
|
|
材料
|
Al
|
|
電纜長(zhǎng)度(m)
|
2
|
|
推jian控制器
|
High Speed
|
|
聯(lián)系我時(shí)請(qǐng)說明來自志趣網(wǎng),謝謝!