四氟化碳,又名四氟甲烷,化學(xué)式為CF4,它既可以被視為一種鹵代烴(有機(jī)物),也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物,常溫常壓下為無(wú)色氣體,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤(rùn)滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。
四氟化碳,又名四氟甲烷,化學(xué)式為CF4,它既可以被視為一種鹵代烴(有機(jī)物),也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物,常溫常壓下為無(wú)色氣體,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤(rùn)滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。
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