超純水是用于電子行業(yè)和半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的高純度工業(yè)用水,是半導(dǎo)體制程工藝所必需的工藝用水,主要應(yīng)用在硅片晶圓的切片、粗磨、化學(xué)蝕平,拋光清洗等工序。對(duì)水中的殘留離子有非常嚴(yán)苛的指標(biāo)要求,是超純水細(xì)分領(lǐng)域的珠穆朗瑪峰。
超純水是用于電子行業(yè)和半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的高純度工業(yè)用水,是半導(dǎo)體制程工藝所必需的工藝用水,主要應(yīng)用在硅片晶圓的切片、粗磨、化學(xué)蝕平,拋光清洗等工序。對(duì)水中的殘留離子有非常嚴(yán)苛的指標(biāo)要求,是超純水細(xì)分領(lǐng)域的珠穆朗瑪峰。
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