一、半導體清洗用超純水設備概述

半導體清洗用超純水設備主要應用在半導體清洗行業(yè)，該設備采用先進的反滲透技術和ED1技術，保證設備的質量和出水水質。該設備整體采用先進的不銹鋼材質，抗腐蝕能力強，同時也不會出現(xiàn)生銹問題，質量可靠，受到用戶的一致好評。

二、半導體清洗用超純水設備工作原理

EDI裝置將離子交換樹脂充夾在陰陽離子交換膜之間形成EDI單元，EDI工作原理如下圖所示，EDI組件中將一定數(shù)量的EDI單元間用網(wǎng)狀物隔開，形成濃水室。又在單元組兩端設置陰陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進入到濃水室面在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統(tǒng)，成為濃水，ED1設備一般以反滲透（RO)純水作為EDI給水．RO純水電導率一般是40-2μ Scm(25℃).

EDI純水電阻率可以高達18MQ.cm(25℃),但是根據(jù)去離子水用途和系統(tǒng)配置設置，EDI純水適用于制備電阻率要求在1-18. 2MΩ.cm(25℃)的純水。

三、半導體清洗用超純水設備制備工藝

1、預處理系統(tǒng)反滲透系統(tǒng)一中間水箱粗混合床精混合床純水箱純水泵紫外線殺菌器拋光混床精密過濾器用水點。（≥18MΩ.C0(傳統(tǒng)工藝）

2、預處理反滲透中間水箱水泵ED1裝置純化水箱一辣水系一紫外線殺菌器一隨光溉床0. 2或0. 5μ=精密過濾器用水點。（＊18MΩ.CM(工藝）

3、預處理一級反滲透加藥機（PH調節(jié)）中間水箱二級反滲透（正電荷反滲膜）純水箱純水泵EDI裝置紫外線殺菌器0. 2或0. 5μm精密過濾器用水點。（≥17MΩ.00(工藝）

4、預處理反滲透中間水箱水泵EDI裝置一純水箱純水泵紫外線殺菌器0. 2或0. 5μ=精密過濾器用水點。（≥15Ω.00(工藝）

5、預處理系統(tǒng)一反涉透系統(tǒng)一中間水箱純水泵一相混合床精混合床紫外線殺菌器一精密過濾器一用水點。（≥15MΩ.CD(傳統(tǒng)工藝）