MKS Delta™系列質(zhì)量流量比控制器劃分和控制混合過程氣體流量以用戶指定的比例內(nèi)的多個腔室或區(qū)域，以優(yōu)化過程均勻性和可重復(fù)性。 Delta™系列流量比控制器具有出色的性能和緊湊的設(shè)計，是MKS的新產(chǎn)品，該產(chǎn)品是流動比控制領(lǐng)域的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者。

準(zhǔn)確且重復(fù)控制流量比以更好地優(yōu)化過程

數(shù)字控制循環(huán)對通道設(shè)定點的快速響應(yīng)獨立于氣體混合

使用不需要特殊軟件的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器

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