電流－電壓測(cè)量功能

0.1 fA – 1 A 和 0.5 µV – 200 V 精準(zhǔn)測(cè)量范圍

點(diǎn)測(cè)量和掃描測(cè)量功能

脈沖點(diǎn)測(cè)量和掃描測(cè)量，最小脈寬達(dá) 500 µs

ASU（自動(dòng)傳感和開關(guān)單元）可以與 HRSMU 配合使用，提供 0.1 fA 的測(cè)量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換

EasyEXPERT group+ 軟件

可以在用戶 PC 上提供表征環(huán)境

使用鍵盤和鼠標(biāo)，通過(guò)直觀的圖形用戶界面（GUI）進(jìn)行操作

多種測(cè)量模式，快速設(shè)置和執(zhí)行測(cè)量（應(yīng)用測(cè)試、典型測(cè)試和快速測(cè)試）

圖形顯示和自動(dòng)分析功能，能夠生成數(shù)據(jù)并導(dǎo)入 Excel 和圖像以便分析和報(bào)告

E5270B 硬件

測(cè)量模塊擁有多達(dá) 8 個(gè)插槽，可配置，可升級(jí)

可選擇高分辨率 SMU（HRSMU）、中等功率 SMU（MPSMU）和大功率 SMU（HPSMU）進(jìn)行配置。HRSMU 支持選件 ASU

高分辨率和高速模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）可以用于所有已安裝的模塊

主機(jī)中配備有源接地單元（GNDU），以施加 0 V 電壓和吸收高達(dá) 4 A 的電流

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