CS-4小型探針臺(tái)

CS系列探針臺(tái)至多可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試 ；

可滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等。

特點(diǎn)/應(yīng)用

滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等

可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

可放置于手套箱內(nèi)使用

形狀輕巧，操作方便，價(jià)格實(shí)惠

探針臺(tái)-臺(tái)體規(guī)格

尺寸：4英寸/6英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸

X-Y移動(dòng)精度：10微米

樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)：可升降10mm

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置6個(gè)探針座

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸：400mm長(zhǎng)*400mm寬*500mm高

重量：約25千克

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡

放大倍率：16X-200X

移動(dòng)行程：水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

光源：外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

探針座

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度：10um/2um/0.7um/0.5um

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2um/1um/2um/5um/10um/20um

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件

加熱臺(tái)、顯示器、轉(zhuǎn)接頭、射頻測(cè)試配件、屏蔽箱、光學(xué)平臺(tái)、鍍金卡盤、光電測(cè)試配件

可接受定制