形式：箱式一體機(jī)，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式，沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不，一體機(jī)系統(tǒng)，可連接單排雙工位手套箱，中間用DN150超高真空插板閥隔斷。
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- 發(fā)布時間：2024-04-10 10:47:28,加入時間:2024年04月09日(距今684天)
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