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三甲基氯硅烷，是一種有機物，化學式為C3H9ClSi，為無色透明液體，有刺激臭味，主要用作硅酮油制造的中間體、憎水劑、分析用試劑。

中文名三甲基氯硅烷

外文名Chlorotrimethylsilane

別    名氯化三甲基硅烷

化學式C3H9ClSi

分子量108.642

CAS登錄號75-77-4

EINECS登錄號200-900-5

熔    點-40 ℃

沸    點57 ℃

密    度0.854 g/cm³ [2]（25℃時）

外    觀無色透明液體

閃    點-18 ℃（OC）

安全性描述S16；S26；S36/37/39；S45

危險性符號C

危險性描述R11；R14；R21；R34

用途

主要用作硅酮油制造的中間體、憎水劑、分析用試劑。

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