真空爐是一種在爐腔內(nèi)利用真空系統(tǒng)將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使?fàn)t腔內(nèi)壓強(qiáng)小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，從而實(shí)現(xiàn)爐腔內(nèi)空間真空狀態(tài)的工業(yè)設(shè)備。‌ 它主要用于在無(wú)氧環(huán)境下進(jìn)行高溫加熱和處理，具有防氧化、防燒損的優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于金屬熱處理、玻璃制造、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。真空爐的內(nèi)部結(jié)構(gòu)通常由高溫材料構(gòu)成，如石英、金屬合金等，以保證其能夠耐受高溫環(huán)境。此外，真空爐還具有快速升溫和冷卻的能力，可以提高生產(chǎn)效率。