BenchMark 450 主要技術(shù)參數(shù)
XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 帶TTL激光和可選5倍鏡頭）
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英制單位 |
公制單位 |
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測(cè)量范圍 |
18" X18"X6" |
450X450x150毫米 |
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尺寸 |
48" X45"X67" |
1210X1140X1700毫米 |
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負(fù)載能力 |
65千克 |
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臺(tái)面分辨率 |
0.5微米 |
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光學(xué) |
雙重放大 (物鏡 X) |
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低 |
0.8 |
1.0 |
2.5 |
5.0 |
10.0 |
25.0 |
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高 |
3.2 |
4.0 |
10.0 |
20.0 |
40.0 |
100.0 |
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標(biāo)配物鏡 |
1X |
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可選物鏡 |
0.8X,2.5X,5X |
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照明 |
LED 背光,LED 同軸面光 |
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可選特征 |
多色可編程環(huán)形燈 (PRL) |
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Ronchi 柵格自動(dòng)ju jiao |
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TTL 激光 |
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旋轉(zhuǎn)分度工作臺(tái) |
