英微米表面顆粒檢測儀U-III基于激光光學傳感器和光散射原理，實時捕獲懸浮粒子的散射光信號，實現(xiàn)單個粒子尺寸的精確分析。采用先進界面技術，通過物理或氣流方式將附著在關鍵表面的顆粒重新懸浮，便于后續(xù)檢測。

該系列設備通過量化表面污染數(shù)據，為半導體制造中的過程控制提供標準化依據，從而優(yōu)化生產良率和產品可靠性。

傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次

測量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；

        B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

        C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

        D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

        E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

        F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒徑分布誤差：≤±30%

濃度示值誤差：≤±30%

重復相對偏差：≤±10%FS

重疊誤差：當每立方英尺2,000,000個粒子時小于5%

氣體檢測：可同時檢測氣體濃度，支持1-3個各種類型的氣體傳感器

溫度范圍：-40 ～ 120℃

檢定標準：計數(shù)報告符合GB/T及ISO14644-1標準或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

檢測模式：數(shù)量模式；質量模式； 凈效模式；三種檢測模式可切換

檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設置     

報警方式：自定義數(shù)量報警值、質量報警值

限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器

法 規(guī) 性：權限管控、審計追蹤、電子記錄等

合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921

合 規(guī) 性：符合21 CFR Part 11

通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

存儲模式：實時存儲、定時存儲可設置；可存儲數(shù)據無限制