安西氣體檢驗檢驗中心
隨著半導體集成電路技術的發(fā)展，對電子氣體的純度和質量要求越來越高，我國電子氣體目前發(fā)展目標是增加品種、增加產(chǎn)量、提高國產(chǎn)化率，并向完成對特氣生產(chǎn)及應用的全套技術開發(fā)的目標努力，技術包括：高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體純化、監(jiān)測、充裝、輸送、貯存技術，以及安全、環(huán)保技術、現(xiàn)場配氣技術、回收與再利用技術等。
隨著半導體集成電路技術的發(fā)展，對電子氣體的純度和質量要求越來越高，我國電子氣體目前發(fā)展目標是增加品種、增加產(chǎn)量、提高國產(chǎn)化率，并向完成對特氣生產(chǎn)及應用的全套技術開發(fā)的目標努力，技術包括：高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體純化、監(jiān)測、充裝、輸送、貯存技術，以及安全、環(huán)保技術、現(xiàn)場配氣技術、回收與再利用技術等。
