在精密零部件熱處理中，氧化（形成氧化皮）與脫碳（表面硬度下降）是致命缺陷，而預(yù)抽真空爐的 “真空 + 氣氛” 雙重保護(hù)技術(shù)，通過 “主動(dòng)除氧 + 被動(dòng)隔氧” 的遞進(jìn)防護(hù)，將爐內(nèi)氧含量控制在≤10ppm，從根源解決這一問題，是其區(qū)別于傳統(tǒng)爐型的核心壁壘。
一、技術(shù)邏輯：兩步防護(hù)，切斷反應(yīng)條件
氧化脫碳的本質(zhì)是工件與爐內(nèi)氧、水蒸汽等活性介質(zhì)反應(yīng)，雙重保護(hù)通過兩步徹底切斷反應(yīng)鏈：
預(yù)抽真空：主動(dòng)除氧
采用 “機(jī)械泵 + 羅茨泵” 組合，將爐內(nèi)空氣從常壓抽至 10⁻²Pa（高真空需求時(shí)加擴(kuò)散泵至 10⁻⁵Pa）。此時(shí)單位體積氧分子數(shù)僅為常壓的 1/10¹⁰，氧含量≤10ppm，同時(shí)抽除水蒸汽、二氧化碳等活性介質(zhì)，使反應(yīng)失去 “原料”。不同工藝真空度適配不同需求：中低溫退火需≥10⁻¹Pa，高溫淬火需≥10⁻²Pa，避免高溫加速微量氧反應(yīng)。
充保護(hù)氣氛：被動(dòng)隔氧
真空后充入惰性氣體（氬氣 / 氮?dú)猓兌?ge;99.999%）或還原性氣體（5% 氫氣 + 95% 氮?dú)猓�，使�(fàn)t內(nèi)壓力升至 0.01~0.05MPa 微正壓。正壓可阻止外部空氣滲入，稀釋爐內(nèi)微量氧；還原性氣體還能與氧化亞鐵反應(yīng)（FeO+H₂=Fe+H₂O），維持碳勢平衡，抑制脫碳。
二、關(guān)鍵設(shè)計(jì)：精準(zhǔn)控制，保障防護(hù)效果
技術(shù)落地依賴兩大系統(tǒng)的精密設(shè)計(jì)：
真空系統(tǒng)：無泄漏是核心
爐殼用 Q345R 鋼板焊接，經(jīng)水壓試驗(yàn)與探傷，確保無缺陷；爐門采用 “銅包覆石墨密封圈 + 機(jī)械壓緊 + 充氣密封”，泄漏率≤1×10⁻⁶Pa・m³/s；配 “電阻規(guī) + 電離規(guī)” 監(jiān)測真空度，未達(dá)標(biāo)則報(bào)警，避免氧含量超標(biāo)。
氣氛系統(tǒng)：純度與均勻性是關(guān)鍵
氣氛源選高純鋼瓶氣或氨分解氣（氧含量≤5ppm），經(jīng)過濾器除雜質(zhì)；用質(zhì)量流量控制器（MFC）精準(zhǔn)控量（精度 ±1%），充氣氛階段大流量速充，保溫階段小流量維穩(wěn)；爐內(nèi)高溫風(fēng)扇 + 螺旋導(dǎo)流板強(qiáng)制循環(huán)，氣流流速 1.5~2m/s，確保工件無氣氛死角，各點(diǎn)氧含量偏差≤2ppm。
