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水份分析測(cè)試(TRACE MOISTURE )

特氣管道水分測(cè)試驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
參考標(biāo)準(zhǔn)：GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范
1.特種氣體系統(tǒng)水分測(cè)試時(shí)，氣體速度應(yīng)低于設(shè)計(jì)流速的10%，且小于3m/s；
2.測(cè)試氣源的水分應(yīng)小于1ppbv；
3.測(cè)試氣體水分增量應(yīng)小于20ppbv；
4.測(cè)試結(jié)束后，應(yīng)至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格。
在氣體管路工程，尤其是氫氣管路等工程中，因?yàn)槭┕ぱb配等原因，管路之間的連接處會(huì)存在一些肉眼差距不到的漏孔，這在使用時(shí)會(huì)導(dǎo)致泄露以及安全事故。
尤其是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)輸送超高純電子氣體的氣體管道工程中，如果發(fā)生泄漏，將對(duì)生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此泄漏檢測(cè)非常重?zé)?br /> 工藝上對(duì)于純度要求高的氣體都需做氨檢，甚至要求氣體管路的漏率在每秒10*e-10CC才可以送氣通常氣體的漏率要求在1.0*e-9 cc.atm/sec以上