GB3048.3半導(dǎo)電橡塑電阻測(cè)試儀是運(yùn)用四探針原理測(cè)量方塊電阻的專用儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時(shí)顯示。儀器 測(cè)試范圍0-10MΩ，小分辨率0.1uΩ，電阻小精度0.01%，精度2%。可用于測(cè)試半導(dǎo)體、⾦屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率。
本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)人工多次和重復(fù)設(shè)置。
四端測(cè)試法是目前較先進(jìn)之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求。
參數(shù)
1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；
2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。
3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；
方阻基本準(zhǔn)確度：1%；
電阻率基本準(zhǔn)確度：1%
整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差：≤±1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%
5. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差
6. 恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。
7. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。
8. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)查表即可計(jì)算出電阻率。
9. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。
10. 雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.
11. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。
12. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。
13. 測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。
14. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
GB/T 10064-2006測(cè)量固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法
前言
本標(biāo)準(zhǔn)等同采用IEC 60167:1964(測(cè)定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法》(英文版)。為便于使用,本標(biāo)準(zhǔn)作了下列編輯性修改:
a)刪除國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的目次、前言和序言
b)刪除國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的小標(biāo)題第一節(jié)至第八節(jié);
c)用小數(shù)點(diǎn)“。’代替作為小數(shù)點(diǎn)的逗號(hào)"，’:
d刪除國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)第12章的注;
e)增加第2章規(guī)范性引用文件,刪除第19章參考文獻(xiàn);
D圖按GB/T1.1-2000標(biāo)注,
考慮到我國(guó)國(guó)情,將IEC 60167;1964第9章中“錫箔"改用“鋁箔”。本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T 10064-1988(固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法》。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A為資料性附錄
測(cè)定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測(cè)定絕緣電阻的方法,但不再區(qū)分體積電阻和表面電阻。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于試樣精度要求不高,只要求一般定性的快速測(cè)定電阻值的場(chǎng)合。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)。然而。鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的版本。凡是不注日期的引用文件,其版本適用于本標(biāo)準(zhǔn),
GR/T1410-2006國(guó)體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法(IEC 60093;1980.IDT)
3術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
絕緣電把iasulation resistance
與試樣接觸或嵌入試樣的兩個(gè)電極之間的絕緣電阻,是加在電極上的直流電壓與施加電壓一定時(shí)間后電極間總電流之比。它取決于試樣的體積電阻和表面電阻，
4意
4.1按本方法所測(cè)出的電阻值包括了體積電租和表面電阻,但未將這兩部分區(qū)分開。本方法與體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法相比(見GB/T 1410-2006),不能給出所測(cè)材料十分確定的數(shù)值，但是所測(cè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以用來(lái)比較不同絕緣材料的性能。
4.2本方法非常適用于確定濕度對(duì)吸型的絕緣材料的影響,在這些絕緣材料中,條件處理不僅會(huì)望著改變材料的表面絕緣性能,而且也會(huì)顯著改變材料內(nèi)部的絕緣性能。
5試驗(yàn)設(shè)備
5.1 絕緣電阻可以用電橋法或者用測(cè)量電流和電壓的方法來(lái)確定。這些方法詳見GB/T 1410-2006.5.2測(cè)量時(shí)施加足夠穩(wěn)定的直流電壓,使電壓變化時(shí)所出現(xiàn)的充電電流與貫穿試樣的電流相比可忽略不計(jì)，如需要,可使用若干電池。
6 電極
材料在試驗(yàn)條件下應(yīng)不會(huì)被腐蝕,且不會(huì)與被測(cè)材料起反應(yīng)，可以使用下列幾種電視:當(dāng)測(cè)量側(cè)重于體積電配時(shí),通常使用圓錐形插銷電極:當(dāng)測(cè)量側(cè)重于表面電阻時(shí),使用其他幾種電極。
7固錐形插銷電極(對(duì)平板、管狀和棒狀試樣)
采用直徑約5mm并帶有約2%錐度的干凈黃銅或不銹鋼作為國(guó)錐形插銷電極,其長(zhǎng)度應(yīng)符合第10章的要求。這些電極適用于平板,管狀和棒狀試樣(見圖1、圖2),將電極插人試樣上兩個(gè)中心距離
為25mm±1mm的橫向并列的孔中(見第10章)。
8導(dǎo)電涂料電極(對(duì)平板,營(yíng)狀和律狀試樣)
導(dǎo)電除料可用作電極材料，可電涂料的溶劑應(yīng)對(duì)被測(cè)材料沒有任何影響,兩條1mm寬的導(dǎo)電涂
料條沿著管或棒的圓周面等距離地涂上,使相鄰兩邊的間隔為10mm±0.5mm,這種電極也可以用于板狀試樣,此時(shí)電極是兩條平行的1mm寬的導(dǎo)電涂料，每個(gè)電極的總長(zhǎng)度是100mm±1mm,它們的間距為10 mm±0.5mm(見圖3.圖4)。
9條形電極(對(duì)薄片試樣及帶狀試樣)
電極是尺寸約為10 mmx10 mmX50 mm的金屬條形夾子,兩電極間的距離為25mm±0.5 mm(見圖5)。這種電極適用于薄片材料(通常為1mm厚或更薄)和柔軟帶狀材料。條形電極可用絕緣件安裝在全屬支架上,金屬支架在測(cè)量電阻時(shí)可用作保護(hù)電極(見圖5e))。
另一種方法,電極可用試樣來(lái)支撐,或用兩個(gè)絕緣件將試祥兩端支撐起來(lái)(見圖5b))。對(duì)剛性材料，條形電極應(yīng)用鋁箱卷繞,卷糖鋁箭的電極與試樣夾緊后,應(yīng)該用一組小的工具沿電極邊緣壓平鋁箔，
以保證電極與試樣緊密接觸。
10用圓錐形描銷電極的試樣
用圓錐形插銷電極進(jìn)行測(cè)量時(shí),矩形平板試樣尺寸至少為50 mmX75mm(見圖1).管或棒試樣直徑至少為20mm,長(zhǎng)度至少為75mm(見圖2)。為了插人這種電板.在平板,管或棒試梯上鉆兩個(gè)平行于橫向并列垂直于板面的小孔,其中心間距為25 mm±1mm,將孔用絞刀纏成與插銷電板一樣的鐮度以后,每個(gè)孔大端的直徑應(yīng)在4.5mm至5.5 mm之間。兩個(gè)孔應(yīng)該完全鉆穿試樣,如果懸管狀試樣則只粘通一管壁。
在鉆或投試樣時(shí),應(yīng)注意保證小孔附近的材料不受任何損壞(例如開裂,擔(dān)傷或炭化)。孔中心離開試樣邊緣至少25mm，將電極壓人(而不是錘人)孔中,以使電極與試樣緊密配合,并使電極伸到試樣
外不小于2mm(見圖1和圖2)。
11用導(dǎo)電涂料電極的試樣
用導(dǎo)電涂料電極進(jìn)行測(cè)量時(shí),矩形平板試樣尺寸至少是60 mmX150 mm(圖3)。棒或管試樣長(zhǎng)度至少為60mm(見圖4)。
12用條形電極的試樣
用條形電極進(jìn)行測(cè)量時(shí),帶狀或窄條試樣的寬度應(yīng)為25.5mm或更窄一些，長(zhǎng)度至少為50mm(見圖5)。
13試樣處理
試樣的預(yù)處理,條件處理,試驗(yàn)的條件取決于被試材料的性質(zhì).應(yīng)在材料規(guī)范中規(guī)定，
14試驗(yàn)程序
14.1每次試驗(yàn)所用試樣的數(shù)量應(yīng)在材料規(guī)范中規(guī)定。在進(jìn)行電阻測(cè)量之前,試樣應(yīng)適當(dāng)?shù)毓P選(見第17章),清潔(見第18章),安裝(見第19章)和處理(見第13章)。應(yīng)保持在處理的大氣條件下對(duì)每個(gè)試樣分別進(jìn)行電阻測(cè)定。
當(dāng)試驗(yàn)過程中在試樣周圍不可能保持所要求的大氣條件,則應(yīng)迅速地將試樣從處理的大氣中移出并在幾分鐘內(nèi)進(jìn)行試驗(yàn),試樣移出和側(cè)量之間所允許的時(shí)間應(yīng)在材料規(guī)范中規(guī)定,規(guī)范中也應(yīng)規(guī)定是在
處理前還是處理后安裝電極，
14.2 試樣和電極應(yīng)按照第6拿至第12章進(jìn)行選擇，應(yīng)用滿足其靈敏度和精確度要求的儀器進(jìn)行電阻測(cè)量(見第5章),除非另有規(guī)定,施加電壓應(yīng)為500V±10V,電化時(shí)間應(yīng)為1min。
15結(jié)果表達(dá)與計(jì)算公式
用導(dǎo)電涂料電極測(cè)量管和棒試樣時(shí),被測(cè)電阻R;應(yīng)用下式換算成電極長(zhǎng)度為100mm時(shí)的電阻:
R
式中:
R-對(duì)應(yīng)于長(zhǎng)度為100mm的試樣電阻,單位為歐姆(Ω):
d一-管或棒的直徑,單位為毫米(mm)。
用條形電極測(cè)量寬度不是25 mm 的試樣時(shí),被測(cè)電阻Rx應(yīng)用下式換算成寬度為25mm時(shí)的
電阻:
R=.R
式中
R對(duì)應(yīng)于寬度為25mm的電阻,單位為歐姆(Ω);
b-寬度，單位為毫米(mm)。
16試驗(yàn)報(bào)告
試驗(yàn)報(bào)告至少應(yīng)包括下列項(xiàng)目:
一絕緣材料的名稱;
一一試樣尺寸:
一一試驗(yàn)方法和電極類型,包括導(dǎo)電涂料的性質(zhì):
電極是在處理前還是處理后安裝;
-清潔方法;
一一預(yù)處理(必要時(shí))和條件處理:
測(cè)量過程中的條件;
一-試驗(yàn)電壓:
--電化時(shí)間:
--測(cè)量得到的各個(gè)絕緣電阻數(shù)值。
注;用各個(gè)絕緣電阻數(shù)值的算術(shù)平均值作為試驗(yàn)結(jié)果不太理想,因?yàn)楦邤?shù)值對(duì)結(jié)果影響太大。反之,取各個(gè)試樣的電導(dǎo)率的算術(shù)平均值作為試驗(yàn)結(jié)果,則低數(shù)值又有很大的影響。因而使用各個(gè)數(shù)值的對(duì)數(shù)的算術(shù)平均值，即幾何平均值,以避免個(gè)別數(shù)值帶來(lái)的影響太大。
17試樣選擇
絕緣電阻的測(cè)量值很大程度上取決于試樣的表面狀況,應(yīng)注意選擇表面沒有損傷的試樣，
18試樣清潔
在許多情況下要求在使用條件下進(jìn)行試驗(yàn)。此時(shí)，試樣不應(yīng)清潔處理。如果希望擦凈,應(yīng)在條件處理以前將試樣表面用乙醉和乙醚混合液或其他合適的溶劑擦凈,并不與棵手指接觸(建議帶醋酸纖維手套).
19試樣安裝
在安裝被測(cè)試樣時(shí),除了與試樣相連的電極外,電極之間不應(yīng)有導(dǎo)電通路。當(dāng)安裝支架要求保護(hù)電極時(shí)，應(yīng)按照GB/T1410-2006中規(guī)定的方法進(jìn)行。
