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一、簡(jiǎn)介
GB/T10581-2006絕緣漆體積表面電阻系數(shù)測(cè)定儀是運(yùn)用四探針原理測(cè)量方塊電阻的專用儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時(shí)顯示。儀器測(cè)試范圍0-10MΩ，小分辨率0.1uΩ，電阻小精度0.01%，精度2%�？捎糜跍y(cè)試半導(dǎo)體、⾦屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率。
本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印。
四端測(cè)試法是目前較先進(jìn)之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求。
二、特點(diǎn)
測(cè)試探頭直排和矩形可選；
標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接⼝；
可配戴軟件查看和記錄測(cè)試數(shù)據(jù)；
電阻⾼精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ；
方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ；
雙電測(cè)原理，提⾼精度和穩(wěn)定性；
三、適用范圍
四探針治具測(cè)試片狀或塊狀半導(dǎo)體材料、金屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率
開爾文測(cè)試夾直接測(cè)試電阻器直流電阻；
四、參數(shù)
1.便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；
2.基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。
3.精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；
方阻基本準(zhǔn)確度：1%；
電阻率基本準(zhǔn)確度：1%
4.整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差：≤±1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%
5.正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差
6.恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。
7.可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。
8.厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)查表即可計(jì)算出電阻率。
9.自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。
10.雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.
11具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。
12.比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。
13.測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

14.軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

GB/T 10581-2006絕緣材料在高溫下電阻和電阻率的試驗(yàn)方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了絕緣材料在800℃及以下的絕緣電阻和體積電阻率的測(cè)定方法，本標(biāo)準(zhǔn)適用于耐高溫的絕緣材料電阻的測(cè)定。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的版本。凡是不注日期的引用文件,其版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)，

GB/T 1410-2006固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法(IEC60093;1980,IDT)

GB/T 10064-2006測(cè)定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法(IEC 60167:1964,IDT)

GB/T 10580-2003固體絕緣材料在試驗(yàn)前和試驗(yàn)時(shí)采用的標(biāo)準(zhǔn)條件(IEC 60212:1971,IDT)

3電極和試樣的準(zhǔn)備

測(cè)量絕緣電阻時(shí),試樣可以是任何合適的尺寸和形狀,見GB/T10064-2006，測(cè)量體積電阻率時(shí),采用圓板試樣及三電極系統(tǒng)。其中有一個(gè)電極是保護(hù)電極。試樣任何兩處的厚度偏差不應(yīng)大于平均厚度的5%。電極是圓形的，由燒熔導(dǎo)電涂料或經(jīng)蒸發(fā)或噴涂于試樣表面而制成的導(dǎo)電覆層組成電極，金或鉑是合適的電極材料。銀不能用,因?yàn)楦邷叵裸y要遷移。薄層的金在較高溫下會(huì)產(chǎn)生燒結(jié)作用,從而降低導(dǎo)電率，對(duì)多孔的試樣不應(yīng)采用蒸發(fā)或噴鍍電極,為了減小試樣邊緣表面的影響,若不用保護(hù)電極,電極至試樣邊緣的最小距離為5mm。

4試驗(yàn)設(shè)備

4.1電阻測(cè)量(見圖1)

應(yīng)采用靈敏度和精確度符合要求的合適裝置進(jìn)行測(cè)量(見GB/T 1410-2006)。

4.2加熱室

應(yīng)采用合適的電熱烘箱或電爐加熱試樣,其結(jié)構(gòu)應(yīng)能使整個(gè)試樣均勻受熱,溫度的波動(dòng)要盡量小。用合適的隔熱罩遮蔽試樣,避免試樣受到加熱元件的直接輻射。隔熱罩可以用陶瓷做成,例如氧化鋁或類似于這類的材料。烘箱內(nèi)要安裝銀,不銹鋼或類似材料的接地金屬屏蔽,防止加熱回路與測(cè)量回路之間發(fā)生漏電流。在試樣電阻很高的情況下,測(cè)量期間必須斷開加熱元件電源,以免測(cè)量受到十?dāng)_。4.3試樣架

試樣應(yīng)緊密地放在加熱室內(nèi)兩塊金屬電極之間,金屬電極及它的引線用耐高溫抗氧化及足夠機(jī)械穩(wěn)定性的金屬或合金制成,如不銹鋼等。此外,試驗(yàn)也可在惰性氣體中進(jìn)行,兩塊電極應(yīng)具有足夠的厚度,以防翹曲并保證試樣和兩塊電極溫度均等。兩塊電極的接觸面的尺寸等于試樣上的電極尺寸,其中一塊可以移動(dòng),以使試樣可插人或取出。

4.4測(cè)量導(dǎo)線

為防止泄漏電流影響試驗(yàn)結(jié)果,采用帶有絕緣的測(cè)量導(dǎo)線穿過高電阻的陶瓷絕緣子而進(jìn)人加熱室內(nèi),絕緣子應(yīng)處在冷的區(qū)域中并要有合適的保護(hù),

注，也可以通過爐頂或爐墻上的孔引人接線(滬身應(yīng)接地),若用硬導(dǎo)線作接線,則導(dǎo)線能依附在支撐物上,接線僅

與支撐物碳觸,該支撐物是較待的,可用任何硬質(zhì)絕緣材料制成，

4.5溫度控制

應(yīng)采用一種溫度控制措施,溫度公差按GB/T10580-2003的要求。用兩支熱電偶或溫度計(jì)，其中一支放在加熱室內(nèi)用來(lái)控制溫度,另一支用來(lái)直接測(cè)量試樣溫度，

測(cè)量試樣溫度用的熱電偶,應(yīng)放在離試樣盡可能近的地方,并使在測(cè)量電阻時(shí)不產(chǎn)生電場(chǎng)干擾。例如熱電偶可直接插到電極的孔中,孔的底部盡可能接近試樣(見圖1)�？稍陔姌O的反面垂直于試樣表面鉆孔,或在墊板的側(cè)面平行于試樣表面鉆孔。熱電偶裝在電極內(nèi)時(shí),必須很好絕緣否則測(cè)量時(shí)應(yīng)把熱電偶斷開或拿出。

因接線的絕緣在烘箱內(nèi)承受熱,使絕緣電阻降低而影響測(cè)量。由于,電流測(cè)量?jī)x表和電源之間的回路是接地的(試樣的兩邊都對(duì)地絕緣),若在電源上構(gòu)成一個(gè)不太大的電流流失,則高電位接線和地電位之間的電導(dǎo)可忽略。低電位接線和地電位之間的電導(dǎo)組成一個(gè)電流測(cè)量?jī)x器并聯(lián)的分流器，測(cè)量電極的對(duì)地電阻應(yīng)比電流測(cè)量?jī)x表的輸入電阻高10-100倍(對(duì)最靈敏的電流測(cè)量?jī)x表而言,其輸入電阻可高達(dá)10Ω)。泄漏電阻必須在每個(gè)溫度下分別測(cè)定,若不同的金屬用在接線和電極架上時(shí),不同金屬之間的熱電偶電勢(shì)能引起測(cè)量誤差,用一個(gè)短路回路代替電源,測(cè)量電流便能指示出該熱電偶電勢(shì)效應(yīng)大小。

4.6測(cè)量期間要點(diǎn)

5條件處理

試樣條件處理由材料規(guī)范規(guī)定,或從GB/T 10580-2003表1所列的條件中選擇。

6試驗(yàn)程序

6.1連續(xù)升溫(方法A)

本方法適用快速獲得在很寬溫度范圍內(nèi)試樣電阻和溫度之間關(guān)系的試驗(yàn),且只適用于介電吸收”作用可以忽略的材料或者類似的材料進(jìn)行比較。

隨著型度的升高,為了很好地確定電阻和溫度之間關(guān)系，要進(jìn)行足夠次數(shù)的電阻測(cè)量。

試樣上施加規(guī)定的電壓,并以一定速度升溫,升溫速度取決于材料的厚度,且不大于5℃/min。

6.2 分段升溫(方法B)

本方法適用于比連續(xù)升溫更精確的電阻和溫度之間關(guān)系的試驗(yàn)，對(duì)于有介電吸收作用的試樣也能采用。若要對(duì)幾個(gè)試樣進(jìn)行測(cè)量時(shí),每個(gè)試樣都能在不打開加熱室的情況下提供測(cè)量端,則可避免等候每個(gè)試樣達(dá)到熱平衡的時(shí)間.

將試樣放人兩金屬電極之間并保持緊密接觸,試樣的溫度應(yīng)盡快地從室溫升到所要求的試驗(yàn)溫度”.

當(dāng)電極的溫度穩(wěn)定在所要求的試驗(yàn)溫度的士2℃或±1%(按較大值計(jì))溫度范圍內(nèi),按材料規(guī)范要求在試樣上施加規(guī)定的電壓1min(或按規(guī)定的其他時(shí)間),然后再升溫到下一個(gè)試驗(yàn)溫度測(cè)量電阻。測(cè)量完成后,應(yīng)除去電壓,并把高壓極、測(cè)量極和保護(hù)極(如必要時(shí))互相短接(短路)。

應(yīng)選擇不少于5個(gè)試驗(yàn)溫度來(lái)確定所要求的溫度范圍內(nèi)電阻和溫度之間的關(guān)系，在較低溫度時(shí)，選擇溫度間隔小,例如10℃,隨著試驗(yàn)溫度的升高,溫度間隔適當(dāng)增大。

注:電阻和溫度的關(guān)系以電阻(電阻率)的對(duì)數(shù)與溫度的例數(shù)的關(guān)系

6.3注意事項(xiàng)

由于介電吸收問題,在規(guī)定的測(cè)量時(shí)間里電流不能達(dá)到穩(wěn)定時(shí),就需要測(cè)出電阻與時(shí)間的函數(shù)關(guān)系,從而估算出穩(wěn)態(tài)下的電阻值。

D介電吸收在有些情況下可使短時(shí)電阻降低到正常電阻值的1/100。

2) 調(diào)節(jié)加熱室的溫度應(yīng)使電極底板的溫度不超過斷要求的試驗(yàn)溫度，

當(dāng)被試材料的電阻相對(duì)低時(shí),需要降低電壓進(jìn)行測(cè)量,避免試樣的發(fā)熱效應(yīng)。

除非對(duì)熱降解影響有特殊要求外,試樣在試驗(yàn)溫度下應(yīng)保持足夠長(zhǎng)的時(shí)間以達(dá)到熱平衡。按試驗(yàn)所要求的時(shí)間間隔或更長(zhǎng)時(shí)間間隔,用另一個(gè)試樣定時(shí)地測(cè)量其電阻值(1min電化時(shí)間),再比較這些測(cè)量值,從而決定暴露于試驗(yàn)溫度下的允許時(shí)間。

對(duì)于那些有極化效應(yīng)的試樣,由于電荷集中在一個(gè)或兩個(gè)電極上,其試驗(yàn)結(jié)果易出現(xiàn)誤差。

在一系列逐級(jí)升溫下試驗(yàn)后,還要在起始溫度上再進(jìn)行測(cè)量,以便觀察試樣暴露在高溫下是否產(chǎn)生水久性變化。

7結(jié)果表示

7.1絕緣電阻

取測(cè)得的電阻R值作為絕緣電阻,單位為歐姆(Ω)。

7.2體積電阻率

根據(jù)下列公式計(jì)算體積電阻率,單位為歐姆米(n*m)。

A=/R

式中:

Rv一一體積電阻,單位為歐姆(Ω);

A-一測(cè)量電極的有效面積,單位為平方毫米(mm²);

h一-試樣在面積A以內(nèi)的平均厚度,單位為毫米(mm)。