GB/T 12022-2025《工業(yè)六氟化硫》對(duì) 99.999% 級(jí)產(chǎn)品的微量雜質(zhì)限值（如氟化氫≤0.1×10⁻⁶、二氧化硫≤0.1×10⁻⁶），對(duì)檢測(cè)技術(shù)提出 “痕量級(jí)” 要求，傳統(tǒng)檢測(cè)方法易受干擾導(dǎo)致結(jié)果失真，新標(biāo)明確的先進(jìn)檢測(cè)技術(shù)路徑，為精準(zhǔn)質(zhì)控提供解決方案。

針對(duì)檢測(cè)難點(diǎn)，新標(biāo)兩大核心技術(shù)：一是采用氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）檢測(cè)酸性雜質(zhì)，通過選擇性離子監(jiān)測(cè)模式，避開六氟化硫主峰干擾，檢測(cè)限低至 0.01×10⁻⁶；二是使用激光光譜法測(cè)定水分，利用水分分子對(duì)特定波長(zhǎng)激光的吸收特性，實(shí)現(xiàn)非接觸式快速檢測(cè)，避免采樣過程中水分吸附污染。這兩種技術(shù)的應(yīng)用，徹底解決傳統(tǒng)化學(xué)滴定法誤差大、檢測(cè)周期長(zhǎng)的問題。

江蘇科海檢驗(yàn)有限公司已攻克微量雜質(zhì)檢測(cè)技術(shù)瓶頸，配備進(jìn)口 GC-MS 與激光露點(diǎn)儀，建立專屬檢測(cè)方法學(xué)驗(yàn)證體系，確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠。可為半導(dǎo)體、高端電力設(shè)備企業(yè)提供 99.999% 級(jí)六氟化硫?qū)ｍ?xiàng)檢測(cè)，出具的 CMA 報(bào)告詳細(xì)標(biāo)注各微量雜質(zhì)檢測(cè)值與新標(biāo)限值對(duì)比，支持?jǐn)?shù)據(jù)溯源。已為多家半導(dǎo)體企業(yè)解決蝕刻工藝中微量雜質(zhì)干擾難題，保障芯片良率，歡迎高端制造行業(yè)客戶咨詢！