電子與半導(dǎo)體制造的潔凈保障​

芯片制造對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求極高，微量氧、水與顆粒物都會(huì)導(dǎo)致晶圓表面氧化或電路缺陷。高純氮在半導(dǎo)體工廠被用作吹掃氣、載氣與保護(hù)氣：在光刻、刻蝕、薄膜沉積等設(shè)備中，持續(xù)通入純氮可排除腔室內(nèi)的活性氣體與濕氣，防止反應(yīng)副產(chǎn)物污染；晶圓傳送與儲(chǔ)存時(shí)用氮封環(huán)境隔離空氣，避免表面鈍化層受損。電子級(jí)高純氮的雜質(zhì)含量需控制在亞ppb級(jí)，生產(chǎn)流程需多級(jí)過(guò)濾、催化除氧與吸附脫水，確保對(duì)工藝良率無(wú)負(fù)面影響。

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涉及的行業(yè)有:氣體生產(chǎn)及銷(xiāo)售、冶金、化工、造船、電子、光纖通訊、機(jī)械制造、食品、醫(yī)療、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、LED等眾多企業(yè)；檢測(cè)項(xiàng)目包含:氫，氧，氙，氮，二氧化碳，丙烷，六氟化硫，天然氣，空氣壓縮，混合氣體，不明氣體氣體中微量元素這些。檢驗(yàn)周期時(shí)間3-5個(gè)工作日左右，歡迎來(lái)電咨詢(xún)!