超純氫在半導(dǎo)體芯片制造中的核心應(yīng)用

半導(dǎo)體芯片制造是超純氫最核心、最主要的應(yīng)用領(lǐng)域，其對(duì)氫氣純度的要求完全契合GB/T 3634.2-2025中超純氫的標(biāo)準(zhǔn)（≥99.9999%），是芯片制造不可或缺的核心原料。其主要應(yīng)用場(chǎng)景包括三個(gè)方面：一是芯片外延生長(zhǎng)，超純氫作為載氣和還原氣，將半導(dǎo)體材料（硅、鍺）的氣態(tài)化合物精準(zhǔn)輸送至襯底表面，同時(shí)還原其中的微量雜質(zhì)，確保外延層的純度和均勻性，直接決定芯片的集成度；二是芯片干法清洗，超純氫用于去除芯片表面的氧化層和微量污染物，避免雜質(zhì)影響芯片的電氣性能；三是離子注入輔助，超純氫作為輔助氣體，改善離子注入的均勻性，提升芯片的穩(wěn)定性和使用壽命。超純氫的純度每降低一個(gè)等級(jí)，芯片良品率將下降10%以上，可見其對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要性。

江蘇科海|氫氣檢測(cè)

GB/T 3634.2-2025《氫氣第2部分：純氫、高純氫和超純氫》于2026年5月1日即將實(shí)施，全面代替2011舊標(biāo)。江蘇科海檢驗(yàn)有限公司現(xiàn)已具備新標(biāo)檢測(cè)能力，可為企業(yè)提供從產(chǎn)品檢測(cè)、質(zhì)量評(píng)價(jià)到技術(shù)咨詢的一站式全方位服務(wù)。

江蘇科海檢驗(yàn)有限公司是一家從事氣體及其相關(guān)產(chǎn)品檢測(cè)的第三方檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，持有 CMA 資質(zhì)證書，是參與GB/T 3634.2-2025《氫氣第2部分：純氫、高純氫和超純氫》起草單位之一。公司擁有從事檢測(cè)服務(wù)的實(shí)驗(yàn)室管理人員和技術(shù)人員、多種精密檢測(cè)儀器，能夠同時(shí)滿足多種檢測(cè)需求。熱烈歡迎廣大客戶來電洽談業(yè)務(wù)！