超純氮的生產(chǎn)以空氣為原料，核心是在高純氮生產(chǎn)工藝的基礎(chǔ)上，增加多道深度提純環(huán)節(jié)，去除微量甚至痕量雜質(zhì)，達(dá)到99.9999%及以上的純度要求，主流生產(chǎn)工藝為深冷空分法結(jié)合多級(jí)深度提純技術(shù)。首先通過(guò)深冷空分法將空氣液化、蒸餾，分離出純度99.999%的高純氮；再通過(guò)多級(jí)吸附、精密精餾、膜分離、低溫吸附等深度提純工藝，逐一去除高純氮中的痕量氧氣、水分、二氧化碳、甲烷、一氧化碳等雜質(zhì)；最后通過(guò)高精度過(guò)濾去除顆粒物，確保雜質(zhì)含量控制在ppb級(jí)以下，最終得到超純氮。該工藝對(duì)設(shè)備精度、操作環(huán)境要求極高，需在潔凈車(chē)間內(nèi)進(jìn)行，僅少數(shù)企業(yè)具備規(guī)�；a(chǎn)能力。
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