超純氮的制備以空氣為原料，核心是在高純氮制備的基礎上，增加多道精密深度凈化環(huán)節(jié)，確保純度達到6N級及以上。主流制備方法以深冷空分法為主，輔以吸附法、膜分離法聯(lián)合提純，是多工藝協(xié)同的復雜過程。首先通過深冷空分法制備出5N級高純氮，再經(jīng)過低溫吸附、精密過濾、離子交換、低溫干燥等多道深度凈化工序，去除其中的微量氧氣、水分、二氧化碳等雜質；最后通過在線檢測實時監(jiān)控純度，確保產(chǎn)出的超純氮符合標準，整個制備過程對設備精度和操作規(guī)范要求極高。
超純氮的制備以空氣為原料，核心是在高純氮制備的基礎上，增加多道精密深度凈化環(huán)節(jié)，確保純度達到6N級及以上。主流制備方法以深冷空分法為主，輔以吸附法、膜分離法聯(lián)合提純，是多工藝協(xié)同的復雜過程。首先通過深冷空分法制備出5N級高純氮，再經(jīng)過低溫吸附、精密過濾、離子交換、低溫干燥等多道深度凈化工序，去除其中的微量氧氣、水分、二氧化碳等雜質；最后通過在線檢測實時監(jiān)控純度，確保產(chǎn)出的超純氮符合標準，整個制備過程對設備精度和操作規(guī)范要求極高。
