我國電子級六氟化硫的國產(chǎn)化已取得顯著突破，打破了國外企業(yè)的技術(shù)壟斷，實現(xiàn)了從依賴進口到自主量產(chǎn)的轉(zhuǎn)變。黎明化工研究設(shè)計院等企業(yè)承擔(dān)的國家科技重大專項“高純六氟化硫研發(fā)與中試”項目通過評審，制備出5.5N級電子級六氟化硫，部分雜質(zhì)含量控制在0.1ppm以內(nèi)，已提交國內(nèi)集成電路企業(yè)使用，市場應(yīng)用效果良好。目前，我國已建成標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)車間和潔凈充裝設(shè)施，年產(chǎn)能可達1000噸以上，產(chǎn)品不僅滿足國內(nèi)需求，還逐步走向國際市場。國產(chǎn)化的推進，不僅降低了國內(nèi)電子企業(yè)的生產(chǎn)成本，還為我國極大規(guī)模集成電路、光纖制造等行業(yè)的發(fā)展提供了堅實的材料保障。

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