超純氮的純度檢測是保障其應用效果的關鍵，檢測方法比高純氮更為精密，常用的方法有氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀法、激光光譜法、微量雜質(zhì)檢測儀法等。氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀法可同時檢測超純氮中多種微量雜質(zhì)，檢測精度可達ppt級，是目前最常用、最精準的檢測方法；激光光譜法具有檢測速度快、靈敏度高的特點，可實時在線檢測超純氮中的微量氧氣、水分等雜質(zhì)；微量雜質(zhì)檢測儀法則用于針對性檢測某一種特定雜質(zhì)，確保雜質(zhì)含量符合標準。

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