激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數(shù)，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標分度精度標定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
激光干涉儀的功能有以下幾方面：
1.自動螺距誤差補償。激光干涉儀不僅能自動測量機器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計算機和數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)通信，對誤差進行自動補償。它比通常的手工補償方法節(jié)省了大量的時間，同時可*大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到*佳精度。
2.回轉(zhuǎn)坐標精度標定。回轉(zhuǎn)坐標分度精度標定可對數(shù)控轉(zhuǎn)臺在任意角度位置，以任意測量間隔進行自動測量及補償。
3.機床動態(tài)特性測試與評估。利用中圖動態(tài)特征測量與評估軟件，可用干涉儀進行杌床振動測試與分析、滾珠絲杠的動態(tài)特性分析、伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析、導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等，從而幫助用戶對機器源進行分析。
4.觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能。利用觸發(fā)脈沖輸入，可實現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù)，從而可實現(xiàn)類似于激光絲杠動態(tài)精度檢查儀的功能或機床傳動鏈精度檢查功能。利用觸發(fā)脈沖輸出，可用激光干涉儀定時或定距發(fā)出脈沖，從而實現(xiàn)類似于激光光刻機的功能。
5.其他用戶接口裝置�？捎弥袌D公司提供的特殊接口軟件，對于現(xiàn)有某些品牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶，配合校準軟件，實現(xiàn)直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測，從而節(jié)省用戶投資費用。
性能參數(shù)
系統(tǒng)性能
² 測量方式：單頻
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
² 存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±1mBar (mbar)
線性測量
² 測量距離：0-40m
² 測量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 測量分辨率：1nm
² 測量*大速度：4m/sec
角度測量
² 軸向量程：0-15m
² 測量范圍：±10°
² 測量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.1μm/m
直線度測量
² 軸向量程：0.1-4.0 m
² 測量范圍：±2.5 mm
² 測量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學鏡移動距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.01μm
垂直度測量
² 測量范圍：±3/M mm/m
² 測量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.01μm/m
平面度測量
² 軸向量程：0-15 m
² 測量范圍：±1.5 mm
² 測量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測量
² 角度測量范圍：0-360°
² 精密轉(zhuǎn)臺角度增量：5°
² 精密轉(zhuǎn)臺分度精度：±1秒
² 精密轉(zhuǎn)臺重復性：0.2秒
