一.SJ6000激光干涉儀概述

激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)，激光干涉儀，則是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中成功的應(yīng)用之一。

二.SJ6000激光干涉儀用途

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、*高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有高的精度和效率，而且及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

三.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

系統(tǒng)性能

²  測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

²  穩(wěn)頻精度：0.05ppm

²  動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

²  預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

²  工作溫度范圍：0~40℃

²  環(huán)境溫度范圍：0~40℃

²  存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

²  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

²  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

²  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

²  大氣壓力傳感器：±1mBar (mbar)

線性測(cè)量

²  測(cè)量距離：0-40m

²  測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)

²  測(cè)量分辨率：1nm

²  測(cè)量*大速度：4m/sec

四.SJ6000激光干涉儀維護(hù)說(shuō)明

1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng)，儀器搬動(dòng) 時(shí)，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。 　

2、光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時(shí)，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。

3、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤(rùn)滑。

4、使用時(shí)，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。

5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

6、 經(jīng)過(guò)精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。