一.概述
SJ輪廓測(cè)量?jī)x采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機(jī)、音圈電機(jī)測(cè)力系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面輪廓進(jìn)行測(cè)量和分析。通過高精度研磨導(dǎo)軌、高性能直線電機(jī)保證測(cè)量的高穩(wěn)定性及直線度，采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo)，計(jì)算機(jī)通過修正算法對(duì)光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，*終還原出工件輪廓信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對(duì)輪廓進(jìn)行各種參數(shù)分析。
二用途
1. 表面輪廓評(píng)定：評(píng)定任何兩點(diǎn)間的距離，兩線夾角，圓弧半徑，并可對(duì)輪廓進(jìn)行直線 度、圓度分析等；
2. 尺寸標(biāo)注：半徑、兩圓心中心距離、X方向尺寸、Z方向尺寸、斜邊尺寸、兩直線之間的夾角、圓弧*高或*低點(diǎn)、直線與直線相交、直線與圓弧相交、圓弧與圓弧相交、尺寸標(biāo)注線大小修改、在數(shù)據(jù)圖形某點(diǎn)上加標(biāo)記等。
3. 局部輪廓放大和調(diào)平。
三.性能特點(diǎn)
1、 高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性：分辨力0.01μm，滿足被測(cè)件測(cè)量精度要求。
1) 高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.01μm，測(cè)量精度高；
2) 自主研發(fā)高精度研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌直線度達(dá)到2um/200mm，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)穩(wěn)定可靠工作；
3) 高性能直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，保證測(cè)量穩(wěn)定性高、重復(fù)性好；
2、 智能化管理與檢測(cè)軟件系統(tǒng)：
儀器操作界面友好，操作者很容易即可基本掌握儀器操作，使用十分簡(jiǎn)便。
1) 10多年積累的實(shí)用檢定軟件設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，向客戶提供簡(jiǎn)潔、實(shí)用、快速的操作體驗(yàn)；
2) 功能強(qiáng)大、自動(dòng)處理數(shù)據(jù)，自動(dòng)顯示、打印、保存、查詢測(cè)量記錄；
3) 測(cè)量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的工件輪廓測(cè)量；
4) 純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國(guó)內(nèi)用戶服務(wù)；
5) 打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢定操作時(shí)間；
6) 本儀器采用計(jì)算機(jī)大容量數(shù)據(jù)庫(kù)儲(chǔ)存，可自動(dòng)記錄保存所有檢定結(jié)果。
3、 測(cè)量力系統(tǒng)：
采用音圈電機(jī)測(cè)力系統(tǒng)，測(cè)力可實(shí)現(xiàn)從10～150mN連續(xù)可調(diào)，測(cè)力分辨力可達(dá)0.2mN；避免了老式砝碼加載因周圍環(huán)境振動(dòng)帶來的測(cè)力誤差，降低了測(cè)力變化引起的測(cè)量誤差。
4、 智能保護(hù)系統(tǒng)：
一旦出現(xiàn)主機(jī)與被測(cè)工件或夾具相撞、或測(cè)針在掃描過程中出現(xiàn)拉力過大，儀器會(huì)停止掃描保護(hù)測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)針。
5、 靈活手動(dòng)控制：
儀器配置了操作桿，可在測(cè)量工件前對(duì)測(cè)針進(jìn)行粗定位；在脫離電腦的情況下，讓測(cè)針左右、上下快速移動(dòng)。
四.技術(shù)參數(shù)
1. X軸
1) 測(cè)量范圍：0～200mm；
2) 示值誤差：±(0.8+2L/100)um，其中L為水平測(cè)量長(zhǎng)度，單位：mm；
3) 分辨率：0.01um；
4) 直線度：2um/200mm
5) 測(cè)量速度：0.1～5mm/s；
6) 移動(dòng)速度：0～80mm/s；
2. Z軸
1) 測(cè)量范圍：0～600mm；
2) 移動(dòng)速度：0～30mm/s；
3. Z1軸
1) 測(cè)量范圍：±25mm；
2) 示值誤差：±(1.6+|2H|/100)um，其中H為垂直測(cè)量高度，單位：mm；
3) 分辨率：0.01um；
4. 測(cè)量力：10～150mN；
5. 爬坡能力：上坡77 º，下坡83º；
6. 儀器尺寸（長(zhǎng)×寬×高）： 800x450x1000（mm）；
7. 儀器總重量：約120Kg。
