一.SJ6000激光干涉儀概述

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有高的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)。

二.

1、在數(shù)控機床檢定中的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀可用于精密機床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據(jù)。軟件內(nèi)置10項常用機床檢驗標(biāo)準(zhǔn)。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術(shù)，是大幅度提高數(shù)控機床的加工精度的關(guān)鍵措施。

2、在三坐標(biāo)檢測中的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標(biāo)測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當(dāng)代制造業(yè)對加工速度的要求提升，三坐標(biāo)測量機各結(jié)構(gòu)件由于高速運行產(chǎn)生機構(gòu)變形，導(dǎo)致的動態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標(biāo)測量機進行靜態(tài)誤差、動態(tài)誤差測量和補償，對提升測量精度具有重要意義。

3、在位移傳感器中的應(yīng)用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢，其特點是反應(yīng)速度快、測量精度高，是位移傳感器實現(xiàn)高精度校準(zhǔn)的重要手段。

4、與其他鏡組配合的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀與不同光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)的測量，具有高的精度和效率。

SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

技術(shù)線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm

分辨率：0.001um