一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行測量的儀器。激光干涉儀是20世紀(jì)60年代末期問世的一種新型的測量設(shè)備，由美國HP公司研制成功并于1970年投入市場，隨即受到了相關(guān)行業(yè)特別是機(jī)床制造業(yè)的重視，其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。隨著激光干涉儀測量技術(shù)的不斷提高，測量軟件的不斷開發(fā)其測量范圍越來越廣泛，特別是在測量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途廣泛。

二.SJ6000激光干涉儀原理

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

若光程差有變化時(shí)，探測器會在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。

三.

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸，進(jìn)行垂直度測量就是在同一基準(zhǔn)上對兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。

共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺用于至少一次測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線度反射鏡。

垂直度測量應(yīng)用

機(jī)器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)等）

垂直度測量通過比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度。垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損、事故造成導(dǎo)軌損壞或機(jī)器地基差或龍門雙驅(qū)動(dòng)機(jī)器上的兩原點(diǎn)傳感器未準(zhǔn)直造成的。垂直度誤差將對機(jī)器的定位精度及插補(bǔ)能力產(chǎn)生直接影響。

典型情況下對于超過1.5米長的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是唯一的選擇，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

X,Y軸垂直度對準(zhǔn)

X,Y工作臺和水平面垂直度測量光學(xué)鏡組的設(shè)定如圖所示。不管是什么類型的XY平臺，包括龍門型或者混合型或者其他類型的XY平臺，無論是大型或者小型平臺，重要的是有一個(gè)共同的參考基準(zhǔn)，就如圖中所示的直線度反射鏡。測量過程中直線度反射鏡保持不動(dòng)。

坐標(biāo)測量機(jī)垂直度和水平軸之間的垂直度測量

對于涉及垂直軸的垂直度測量，需要額外的增加直線度的附件，主要包括一個(gè)將光束偏轉(zhuǎn)90°的光束轉(zhuǎn)向鏡。