設(shè)備名稱(chēng)：原子力掃描探針顯微鏡

主要性能指標(biāo)：

掃描尺寸：90µm x 90µm x 10µm

FastScan 掃描尺寸：35µm x 35µm x 3µm

掃描速度：125Hz

溫度范圍：-35°C至 250°C

彈性模量范圍： 1 MPa~100 GPa

粘附力范圍： 10 pN~10uN

表面電勢(shì)：±10V，精度10mV

主要工作模式：

Contact mode（接觸模式）

Tapping mode（輕敲模式）

LFM（橫向力顯微鏡）

EFM（靜電力模式）/surface potential(表面電勢(shì))

PR-mode(壓電響應(yīng)模式)

MFM（磁力顯微鏡模式）/TR-MFM（橫向磁力顯微鏡模式）

ScanAsyst（智能成像模式）

Peak force QNM(定量納米力學(xué)性能測(cè)試模式) /Peakforce TUNA(峰值力隧道電流顯微鏡)

Torsion resonance mode(扭轉(zhuǎn)共振模式)

Force curve（力曲線模式）/Force volume（力曲線陣列模式）

Liquid imaging（液態(tài)成像模式）

特色及用途：

除了配備常規(guī)的智能成像模式，接觸模式，輕敲模式，橫向力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡等模塊外，還配備了定量納米力學(xué)性能測(cè)試模式，峰值力隧道電流顯微鏡, 導(dǎo)電原子力顯微鏡等，極大拓寬了材料測(cè)試領(lǐng)域和系統(tǒng)分析功能。特別是配備的快速掃描模塊，極大縮短樣品掃描時(shí)間，提高了測(cè)試效率。本套設(shè)備的主要功能及特點(diǎn)如下：

1.三維形貌觀察：通過(guò)輕敲/接觸模式對(duì)軟硬程度不同的樣品進(jìn)行微納米尺度三維形貌觀察；

2.表面電勢(shì)及靜電力分布測(cè)量：通過(guò)靜電力顯微鏡(EFM)以及開(kāi)爾文探針顯微鏡(KFM)進(jìn)行觀察，測(cè)量材料表面的電勢(shì)及靜電力分布；

3.樣品的導(dǎo)電性測(cè)量：通過(guò)峰值力隧道電流顯微鏡和導(dǎo)電原子力顯微鏡測(cè)量樣品的電學(xué)性能；

4.納米力學(xué)測(cè)試：通過(guò)(Peak force QNM)以及力曲線模塊(Force volume) 測(cè)量微納米尺度下材料的力學(xué)性能，包括彈性模量，粘附力等；

5. 鐵電/壓電材料表征：通過(guò)壓電力顯微鏡(PFM)對(duì)鐵電/壓電材料的電疇分布及電滯回線進(jìn)行測(cè)量。

6. 快速掃描成像：通過(guò)FastScan模塊對(duì)樣品的形貌，電勢(shì)，靜電力等進(jìn)行快速掃描成像；

應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、物理、化學(xué)、生物研究領(lǐng)域。

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