低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態(tài)污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環(huán)境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理中最富有前景、最行之有效的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業(yè)領域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。

　　工作原理

　　主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，尖端放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質，其所擁有的高能電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度、高能量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發(fā)生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產生的原子氧。

　　活性自由基可以有效地破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態(tài)氧能迅速將有機廢氣分子等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學反應，最后生成無害產物。