氬氣熱式氣體質(zhì)量流量控制器傳感器閥門在一般情況下，質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計的單位都是以sccm（毫升/分鐘）和slm（升/分鐘）表示；s代表stand，指標準狀況下；cc指毫升；l指升，m代表minute，指分鐘。其實這就意味著，流量控制器在不同的使用條件下，指示的流量全都是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg)； 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。

 而對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑也便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min或者g/h）,這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說,在標準狀態(tài)下的體積流量其實就等同于質(zhì)量流量。