大多數(shù)光學實驗或工業(yè)生產(chǎn)都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導致儀器測量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準確性,嚴重干擾生產(chǎn)和實驗的進行,振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內(nèi)部的振動,地面固有振動,工作人員踩踏地板以及開、關(guān)門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝泳鶎傧到y(tǒng)之外的振動,這一類振動需通過光學平臺的隔振支架衰減;而來自系統(tǒng)內(nèi)部的振動包括儀器振動、氣流、冷卻水流等,則需依靠光學平臺的桌面阻尼來隔絕。
隨著光學加工設備和測量儀器精度的不斷提高, 其對工作環(huán)境的振動隔離提出了更加嚴苛的要求。例如,離子激光器泵浦噴流染料激光器時,激光器的振動要求達到了微米級;由于可見光波長約為0.5微米,即使振動在次微米級別時,以光的干涉為基礎的實驗(如全息攝影) 也將無法進行; LμmArray 公司的并行激光直寫設備的直寫頭振動線位移不能超過15nm ;超精密機械加工的表面粗糙度要求已經(jīng)達到 0.1nm ;高精度掃面探針顯微鏡的雙向分辨率都已達到亞納米級。因此,對光學加工設備及光學測量儀器進行有效的隔振是保證科研生產(chǎn)活動正常進行的必要條件。
主要特點
臺面整體采用三層夾心結(jié)構(gòu),上臺面為410鐵磁不銹鋼,中心為蜂窩/井字鋼支撐結(jié)構(gòu),底板為碳鋼,在保證隔振性能得同時,提高了剛性、穩(wěn)定性,臺面精磨
平臺支架采用整體焊接式四支撐結(jié)構(gòu),上方帶有三加一調(diào)整結(jié)構(gòu),支架下方具有高度調(diào)整功能,調(diào)整范圍±15mm
隔振支架可以選裝靜音腳輪,方便移動
蜂巢式的設計大大的減輕了光學隔振平臺重量,剛性卻有所增加,保證了較大的限度的機械穩(wěn)定性,提高了阻尼
臺面上的M6安裝孔陣列用于固定各種光學部件,公制孔距為25毫米,英制孔距為1英寸
技術(shù)參數(shù)
水平方式:手動調(diào)平
平面度:≤0.5mm/600mm×600mm
固有頻率8-10Hz
臺面厚度:50/100/200mm
應用
光學實驗 、光靶實驗、對振動要求不高得儀器設備
