數(shù)模雙通訊的氣體質(zhì)量流量控制器DC系列氣體質(zhì)量流量計和控制器能用來測量單一氣體的結(jié)構(gòu),緊湊的氣體質(zhì)量流量計和控制器能用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組。主要的技術(shù)優(yōu)點:基于熱式毛細管技術(shù),模塊化的設(shè)計;極其緊湊的尺寸;高精度,線性和重復(fù)性穩(wěn)定;快速響應(yīng)時間;多種氣體/多量程范圍可選。
數(shù)模雙通訊的氣體質(zhì)量流量控制器DC系列氣體質(zhì)量流量計和控制器能用來測量單一氣體的結(jié)構(gòu),緊湊的氣體質(zhì)量流量計和控制器能用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組。主要的技術(shù)優(yōu)點:基于熱式毛細管技術(shù),模塊化的設(shè)計;極其緊湊的尺寸;高精度,線性和重復(fù)性穩(wěn)定;快速響應(yīng)時間;多種氣體/多量程范圍可選。
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