不同類型的熱式氣體質(zhì)量流量控制器主要是指能夠結(jié)合氣體質(zhì)量流量計(jì)，通過(guò)PID程序，自動(dòng)設(shè)置和調(diào)節(jié)閥門開(kāi)度和大小的一種控制閥門。流量控制閥可作為質(zhì)量流量控制器的集成部分或作為單獨(dú)部件與流量計(jì)或其他氣路裝置組合使用，以達(dá)到流量設(shè)定值。

 質(zhì)量流量計(jì)組態(tài)靈活，功能強(qiáng)大,性能價(jià)格比高，是新一代流量?jī)x表。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。