不同類型的熱式氣體質(zhì)量流量控制器主要是指能夠結(jié)合氣體質(zhì)量流量計，通過PID程序，自動設(shè)置和調(diào)節(jié)閥門開度和大小的一種控制閥門。流量控制閥可作為質(zhì)量流量控制器的集成部分或作為單獨部件與流量計或其他氣路裝置組合使用，以達到流量設(shè)定值。

 質(zhì)量流量計組態(tài)靈活，功能強大,性能價格比高，是新一代流量儀表。熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。