等離子體是一種聚集態(tài)物質(zhì)，其所擁有的高能電子能在毫秒級(jí)的時(shí)間內(nèi)，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應(yīng)，產(chǎn)生高濃度、高強(qiáng)度、高能量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機(jī)廢氣中的分子碰撞時(shí)會(huì)發(fā)生一系列基元物化反應(yīng)，并在反應(yīng)過程中產(chǎn)生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產(chǎn)生的原子氧。活性自由基可以有效地破壞各種病毒、細(xì)菌中的核酸，蛋白質(zhì)，使其不能進(jìn)行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態(tài)氧能迅速將有機(jī)廢氣分子異味氣體分解或還原為低分子無害物質(zhì)；另外，借助等離子體中的離子與物體的聚合吸附作用，可以對(duì)小至亞微米級(jí)的細(xì)微有機(jī)廢氣顆粒物進(jìn)行有效的吸附沉降處理。