中國國家電子超純水規(guī)格GB/T1146.1-1997電子級水的技術指標應符合表中的規(guī)
電子級超純水設備應用場合:
1.GMP純化水半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
2.超純材料和超純化學試劑;
3.實驗室和中試車間;
4.汽車、表面拋光處理;
5.其他高科技精微產品。
中國國家電子超純水規(guī)格GB/T1146.1-1997電子級水的技術指標應符合表中的規(guī)
電子級超純水設備應用場合:
1.GMP純化水半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
2.超純材料和超純化學試劑;
3.實驗室和中試車間;
4.汽車、表面拋光處理;
5.其他高科技精微產品。
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