量熱式氣體質(zhì)量流量控制器可以用來調(diào)節(jié)和控制多種比例的不同介質(zhì)，采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，無需溫度壓力補償，即可以直接測量氣體的質(zhì)量流量，在知道氣體混合比例，或知道混合氣體密度，或混合氣體系數(shù)相近時均可以對混合氣體進行測量和控制。