松盛國產氣體動態(tài)配氣裝置：采用PLC一體化控制實現配氣、控壓和測壓的功能，并可通過各路流量來控制配氣比例、系統(tǒng)壓力等。稀釋范圍從10-1000倍（可按需定制），流量輸出0.5-1000L/min，具有自動或手動稀釋模式，可設備中自行選擇應用模式。裝置中采用高精度的熱式流量控制器，并經高精度流量計校準，流量偏差可控制在±0.5%以內，重復性小于±0.2%，稀釋設備的精度優(yōu)于±1%（可選更高精度）。