它主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。PFA花籃，進入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
|
名稱 |
規(guī)格 |
耐溫性 |
應(yīng)用 |
|
PFA花籃 PP Cassette
|
2寸 |
-200~260℃ |
酸堿傳輸制程 |
特點：
1.耐腐蝕：耐受強酸強堿
2.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb
3.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染
