它主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門(mén)之酸堿制程中使用、傳送晶圓。PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
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名稱 |
規(guī)格 |
耐溫性 |
應(yīng)用 |
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PFA花籃 PP Cassette
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2寸 |
-200~260℃ |
酸堿傳輸制程 |
特點(diǎn)：
1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿
2.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb
3.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無(wú)污染
