電學(xué)型氫氣傳感器可以分為電阻型和非電阻型兩類，前者以金屬氧化物半導(dǎo)體傳感器為典型代表，后者主要利用肖特基二極管或MOSFET進(jìn)行測量。其中，又以金屬氧化物半導(dǎo)體傳感器更為常見。該種傳感器有兩個電極，在兩個電極之間的襯底材料上涂一層金屬氧化物膜（例如氧化錫），該膜作為一種氫敏材料，與氫氣相互作用后其電導(dǎo)率會發(fā)生改變。因此，半導(dǎo)體導(dǎo)電率的變化可以作為氫氣濃度的量度。