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六氟化硫是常溫常壓下無(wú)色無(wú)味無(wú)毒氣體。它不燃燒。它具有熱穩(wěn)定性和化學(xué)活性，在500℃以上的紅熱下不分解，在800℃以下很穩(wěn)定，250℃下與金屬鈉反應(yīng)。它沒(méi)有腐蝕性。它可以用普通材料，不會(huì)腐蝕玻璃。電氣絕緣性能和消弧性能良好。絕緣性能是空氣的2-3倍，氣壓越大，絕緣性能越高。其藥理特性不具有活性和毒性。在水里美容比在水里更容易溶于酒精和乙醚。不溶于鹽酸和氨。
電子設(shè)備采用氣體絕緣體、雷達(dá)波導(dǎo)管、粒子加速器、變壓器、避雷器、冷卻劑、靶裝置、醫(yī)療、蝕刻、化學(xué)相沉積、標(biāo)準(zhǔn)氣體、半導(dǎo)體制造中的泄漏氣體、色譜的載量。