一、簡(jiǎn)介 GB/T1410半導(dǎo)電屏蔽體積電阻率智能測(cè)試儀是運(yùn)用四探針原理測(cè)量方塊電阻的專用儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時(shí)顯示。儀器 測(cè)試范圍0-10MΩ，小分辨率0.1uΩ，電阻小精度0.01%，精度2%。可用于測(cè)試半導(dǎo)體、⾦屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無人工多次和重復(fù)設(shè)置。 四端測(cè)試法是目前較之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。 GB/T1410半導(dǎo)電屏蔽體積電阻率智能測(cè)試儀采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購.提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求。 二、特點(diǎn) 測(cè)試探頭直排和矩形可選； 標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接⼝； 可配戴軟件查看和記錄測(cè)試數(shù)據(jù)；電阻⾼精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ； 方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ； 雙電測(cè)原理，提⾼精度和穩(wěn)定性； 三、適用范圍 四探針治具測(cè)試片狀或塊狀半導(dǎo)體材料、金屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率 開爾文測(cè)試夾直接測(cè)試電阻器直流電阻； 四、參數(shù) 1.便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用； 2.基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。 3.精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％； 方阻基本準(zhǔn)確度：1%； 電阻率基本準(zhǔn)確度：1% 4.整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差：±1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：±1% 5.正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差 6.恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。 7.可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。 8.厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無查表即可計(jì)算出電阻率。 9.自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均 值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。 10.雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好. 11.具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來的測(cè)試結(jié)果偏差。 12.比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。 13.測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。 14.軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。 固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法 范圍 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了團(tuán)體維緣材料體和電阻率和表而電國求的試驗(yàn)方法，這些試股方法向括對(duì)固體換修材料體積電阻和表面電阻的測(cè)定程序及體積電阻率和表面電阻率的計(jì)算方法。 體積電阻和表面電阻的試驗(yàn)都受到下列因素影響:施加電壓的大小和時(shí)間;電極的性質(zhì)和尺寸;在試樣處理和測(cè)試過程中周圍大氣條件和試樣的溫度、濕度。 2規(guī)范性引用文件 下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)， GB/T 10064--2006測(cè)定固體絕緣材料地球電阻的試驗(yàn)方法(TEC 60167:1964,IDT) GB/T 10580-2003國體絕緣材料在試驗(yàn)前和試驗(yàn)時(shí)采用的標(biāo)準(zhǔn)條件(IEC60212,1971,IDT)IEC 60260:1968非讓人貳恒定檔對(duì)整度的試驗(yàn)箱 關(guān)鍵內(nèi)容梳理清楚： 一、核心概念與標(biāo)準(zhǔn)依據(jù) ‌體積電阻率‌：反映材料內(nèi)部對(duì)電流的阻礙能力，單位是Ω·m或Ω·cm。 ‌表面電阻率‌：衡量材料表面導(dǎo)電性，單位是Ω/□。 ‌主要標(biāo)準(zhǔn)‌：GB/T 1410-2006（國內(nèi)通用）和IEC 93（國際等效），規(guī)定了測(cè)試流程和計(jì)算方法。 二、測(cè)試方法詳解 1. 體積電阻率測(cè)試 ‌原理‌：在材料相對(duì)兩面加直流電壓，測(cè)量穩(wěn)態(tài)電流，計(jì)算電阻率。 ‌步驟‌： 準(zhǔn)備樣品：切割成圓片，去除表面氧化層。 設(shè)備：直流高阻儀、電源（輸出電壓約5V）。 操作：連接電極，記錄電壓和電流，計(jì)算電阻率。 ‌關(guān)鍵點(diǎn)‌： 穩(wěn)定時(shí)間：低電阻率材料（<10¹⁰ Ω·m）1分鐘內(nèi)可穩(wěn)定。 環(huán)境控制：需在干燥通風(fēng)條件下進(jìn)行。 2. 表面電阻率測(cè)試 ‌原理‌：在材料表面加電壓，測(cè)量電流，計(jì)算電阻率。 ‌步驟‌： 準(zhǔn)備樣品：同體積電阻率測(cè)試。 設(shè)備：直流低阻儀、電源（輸出電壓約10V）。 操作：連接電極，記錄電壓和電流，計(jì)算電阻率。 ‌關(guān)鍵點(diǎn)‌： 電極系統(tǒng)：常用三電極法（護(hù)環(huán)電極+主電極）。 環(huán)境控制：需在溫濕度穩(wěn)定條件下進(jìn)行。 三、影響因素與注意事項(xiàng) ‌電壓與時(shí)間‌：影響極化效應(yīng)和電流穩(wěn)定性。 ‌電極特性‌：尺寸和材質(zhì)影響接觸電阻和測(cè)量精度。 ‌環(huán)境條件‌：溫濕度顯著影響電阻率，需記錄環(huán)境參數(shù)。 ‌操作要點(diǎn)‌： 電極清潔：避免雜質(zhì)影響接觸。 加壓方式：按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定操作，確保結(jié)果可比性。 儀器量程：選擇合適量程，避免讀數(shù)誤差。 四、應(yīng)用與意義 ‌材料選擇‌：體積電阻率是選材關(guān)鍵參數(shù)。 ‌質(zhì)量檢測(cè)‌：用于檢查材料均勻性和雜質(zhì)。 ‌性能評(píng)估‌：結(jié)合介電常數(shù)、耐壓強(qiáng)度等參數(shù)，全面評(píng)估絕緣性能。